En bred vifte af funktioner opnås ved mikroelektronik, og en vigtig måling foretaget af dem er vibrationer. Vibrationssensorer måle, hvad der er kendt som oscillerende bevægelse, en bevægelse, der kontinuerligt går frem og tilbage. Retningen kan angives ved hjælp af et koordinatsystem med akser, og kan måles kraft for tyngdekraft så godt. Vibration analyse gøres ved at måle forskydning og hastighed samt acceleration, der primært analyseret ved vibration overvågning sensorer. De forskellige typer omfatter piezoelektriske, integreret elektronik piezoelektrisk, piezoresistiv, variabel kapacitans, og servo sensorer.
Vibrationssensorer kaldes normalt accelerometre. Piezoelektriske accelerometre operere på energien af de kræfter, der virker på dem, så der er ikke behov for ekstra strømkilder i systemet. Forskydningen af elektron afgifter på hver side af sensoren anvendes til at generere målinger. Almindelige typer af denne sensor omfatter en forskydning design, som er bygget til at håndtere store temperaturforskelle, og en stråle type design, der ofte foretrækkes, fordi det er typisk tilgængelige til en lav pris.
Integral elektronik piezoelektriske sensorer omfatter mindre forstærkere i deres egen, så et specielt kabel er ikke behov for ligesom i et piezoelektrisk produkt. De input og output-signaler passerer gennem et enkelt kabel tilsluttet sensoren, og det overordnede design er beskyttet mod elektrisk støj. Denne enhed kan også optage elektroniske filtre, elektriske overbelastningsbeskyttelse, og en række hjælpefunktioner.
En piezoresistive sensor er konfigureret i enten en enkelt- eller multipel-arm design til fremstilling af en mere kompleks output. Det er drevet af eksterne strømkilder, giver et udgangssignal, der skal anvendes til at overvåge vibrationer betingelser, der er stabile i stedet for at ændre i retning eller kraft. Ved høje acceleration betingelser, variable kapacitans vibrationer sensorer ofte integrere silikone vafler med huller i mellem for holdbarhed. De kan tåle accelerationer op til 1.000 gange deres fastsat arbejdsområde.
I modsætning til andre sensorer, der er afhængige af forskydning af krystaller eller andre elementer i en åben sløjfe konfiguration, en servo eller force balance, accelerometer anvender et lukket kredsløb design. Servostyret vibrationssensorer har en højere nøjagtighed og kan anvendes i inertial styringssystemer. Andre almindelige former for sensorer til vibrationsanalyse omfatter sensorer. Disse opholde ofte inde for kontrol med flytning af interne komponenter ved at måle deres elektriske ledningsevne. Mens disse er berøringsfri, andre vibrationssensorer afhængige kontakt til præcist at måle bevægelse eller distance.